晶圆厂与光刻机制造商的关系是怎么一回事

2024-05-14

1. 晶圆厂与光刻机制造商的关系是怎么一回事

光刻机制造商为晶圆厂提供光刻机,晶圆厂用光刻机生产产品

晶圆厂与光刻机制造商的关系是怎么一回事

2. 光刻机和刻蚀机的区别

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。

扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
参考资料:百度百科-光刻机,百度百科-刻蚀

3. 中国如果可以做出高端光刻机,欧美国家会有什么反应?

前段时间,中芯国际向荷兰ASML订购了一台EUV极紫外光刻机,这是中芯用于7nm工艺的光刻机。但是,ASML的突然意外失火,让中芯错失这台机器。实际上,就算不失火,我估计中芯也拿不到这台机器!“技术的垄断”不会让我们掌握这项关键性技术。我们即使无奈,却只能“忍气吞声!”

我们先解决一个问题:为什么荷兰ASML公司可以垄断80%的光刻机市场份额?原因很简单,技术先进。而我们为什么制造不出光刻机?同样原因很简单:技术落后!
我们首先要知道,光刻机是什么?
光刻机,通过将各路电路的图案经过激光,缩微投影爆光到光刻胶上。看似简单的解释,其实非常复杂。所以,如今做的最好的就是荷兰的ASML的光刻机。而,尼康,佳能,中国的上海微电子装备和它相比还远远不如。
那么,为什么台积电,三星可以拥有ASML最先进的光刻机呢?主要是因为台积电,三星在ASML中都有股份。所以,它们可以第一时间使用到ASML公司的光刻机。

目前,我国为了摆脱这种困境,专门成立了,上海微电子装备有限公司(SMEE)。终于在2007年研究出了90nm高端投影光刻机;而在2016年内部验收了28nm光刻机。虽然说和荷兰ASML的7nm光刻机相去胜远,但是这已经是进步。
其实,上海微电子的在光刻机领域的进步虽然有目共睹,但是和荷兰之间的差异还是非常大的。这里主要是因为一些关键零部件,还是来欧美发达国家,比如瑞典的轴承,德国的镜头,美国的光栅,法国的阀件等等。而这些国家对于中国零部件都是禁运的。
所以,在这些关键的零部件中对中国进行禁售,也是反映了欧美国家害怕,一旦中国掌握了光刻机技术,会对欧美国家产生多大的影响,特别是在芯片领域的自主。
而光刻机中的一些关键技术,需要我们特别注重基础科学研究,加大投入。只有在慢慢的投入过程中获得提升,才能够摆脱西方国家的垄断。

哈哈,中国本身就是可以造出光刻机的,不过比世界最先进的标准差两到三代,荷兰阿斯麦的高端光刻机现在可以做出7纳米工艺的成熟产品,下一步应该是5纳米,3纳米。
不过最近两年我国光刻设备研发取得长足的进步,发展惊人,就在前两天爆出喜讯,中科院光电研究所攻关研制出世界首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。其实计划是2030年要达到世界先进水平,与世界先进技术齐平,以现在看来可能会提前完成目标。
我国光刻技术进步,会使世界上的光刻设备销售价变成白菜价,荷兰阿斯麦的高端光刻设备售价可以达到1亿多美金一台,光一个极紫外光源就要3000万,而我们的紫外光源只要几万块钱一个,光刻机整机也只需百万级别,到千万级别的。其实我们去买它们的最顶端的光刻机,根本就不会卖给我们。

中国如果可以做出高端光刻机,欧美国家会有什么反应?

4. 生产光刻机有哪些上市公司

生产光刻机上市公司:ABM、上海微电子装备有限公司、佳能、尼康。
1、ABM
ABM公司成立于1986年,总部位于美国硅谷San Jose。主要经营光罩对准曝光机(光刻机),单独曝光系统,光强仪/探针。公司的主要市场在美国和亚洲。
ABM总部位于美国硅谷,亚太销售服务、维修中心设于中国香港,公司在亚洲的中国、韩国、日本、印度、新加坡、马来西亚、台湾地区设有代理机构。W.J.H.公司为ABM指定的中国独家代理商。
2、上海微电子装备有限公司
上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内,邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化(东部)基地等多个国家级基地。
公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。

3、佳能
佳能(Canon),是日本的一家全球领先的生产影像与信息产品的综合集团,从1937年成立以来,经过多年不懈的努力,佳能已将自己的业务全球化并扩展到各个领域。  
4、尼康
尼康作为世界上仅有的三家能够制造商用光刻机的公司,似乎在这个领域不被许多普通人知道,许多人只知道尼康的相机做的好,却不知道尼康光刻机同样享誉全球。
参考资料来源:百度百科-ABM
参考资料来源:百度百科-佳能
参考资料来源:百度百科-尼康
参考资料来源:百度百科-上海微电子装备有限公司

5. 光刻机是芯片制造的关键,现在在中国有哪些企业能够研制光刻机?

光刻机是芯片制造的关键设备,我国投入研发的公司有微电子装备(集团)股份,长春光机所,中国科学院等都在研发,合肥芯硕半导体有限公司,先腾光电科技有限公司,先腾光电科技有限公司, 合肥芯硕半导体有限公司都有研发以及制造。而且有了一定的科研成果,但是目前我国高端芯片的制造却主要依赖荷兰进口的光刻机。我国光刻机在不断发展但是与国际三巨头尼康佳能(中高端光刻机市场已基本没落)ASML(中高端市场近乎垄断)比差距很大。



光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸。



上海微电子装备(集团)股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域,2018年出货大概在50-60台之间。营业收入未公布,政府是有大量补贴的。处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机,制程上的差距就很大,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。



2016年11月15日,由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前现场测试。在长春光机所、成都光电所、上海光机所、中科院微电子所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学等参研单位的共同努力下,历经八年的戮力攻坚,圆满地完成了预定的研究内容与攻关任务,突破了现阶段制约我国极紫外光刻发展的核心光学技术,初步建立了适应于极紫外光刻曝光光学系统研制的加工、检测、镀膜和系统集成平台,为我国光刻技术的可持续发展奠定了坚实的基础。



合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月,是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000,已经实现最高200nm的量产。
无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。
先腾光电成立于2013年4月,已经实现最高200nm的量产,在2014国际半导体设备及材料展览会上,先腾光电亮出了完全自主知识产权的LED光刻机生产技术,震惊四座。

光刻机是芯片制造的关键,现在在中国有哪些企业能够研制光刻机?

6. 世界上能做出高端光刻机的国家有哪些

能制造高端光刻机的只有荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。


拓展资料:
光刻机种类
一、接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。
1、软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;
2、硬接触 是将基片通过一个气压(氮气),往上顶,使之与掩膜接触;
3、真空接触 是在掩膜和基片中间抽气,使之更加好的贴合(想一想把被子抽真空放置的方式)

二、接近式曝光(Proximity Printing):掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙(Gap),Gap大约为0~200μm。可以有效避免与光刻胶直接接触而引起的掩膜板损伤,使掩膜和光刻胶基底能耐久使用;掩模寿命长(可提高10 倍以上),图形缺陷少。接近式在现代光刻工艺中应用最为广泛。

三、投影式曝光(Projection Printing):在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。优点:提高了分辨率;掩膜板的制作更加容易;掩膜板上的缺陷影响减小。
光刻机——百度百科

7. 中国的光刻机与刻蚀机已经达到世界先进水平,为什么有些人还说中国芯片业依旧前路艰辛?

据媒体报道,2018年12月,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米,相当于头发丝直径(约为0.1毫米)的二万分之一,将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划2019年进行5纳米制程试产,预计2020年量产。

▲半导体器件工艺制程从14纳米微缩到5纳,等离子蚀刻步骤会增加三倍
刻蚀机是芯片制造的关键设备之一,曾一度是发达国家的出口管制产品。中微半导体联合创始人倪图强表示,中微与科林研发(Lam Research)、应用材料(Applied Materials)、东京威力科创(Tokyo Electron Limited)、日立全球先端科技 (Hitachi High-Technologies) 4家美日企业,组成了国际第一梯队,为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。中微半导体如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机,预计能获得比7纳米更大的市场份额。

中科院SP超分辨光刻机
提问者所说的中国光刻机达到世界先进水平,应该是指2018年11月29日通过验收的,由中国科学院光电技术研究所主导、经过近七年艰苦攻关研制的“超分辨光刻装备”项目。
该项目下研制的这台光刻机是“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。这是一种表面等离子体(surfaceplasma,SP)超分辨光刻装备。
▲中科院研制成功并通过验收的SP光刻机
该光刻机在365纳米光源波长下,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。结合双重曝光技术后,未来还可用于制造10nm级别的芯片......

中国的刻蚀机的确是达到了世界先进水平,光刻机还早,而且就算是这两样都世界先进了,不代表中国芯片业的前路就不艰辛了。目前中国的刻蚀机的确领先,5纳米等离子体刻蚀机已经通过台积电验证;但是光刻机就差多了,之前新闻报道中提到的“中科院SP超分辨光刻机”其实最多只能算是一个“原型机”,和ASML的光刻机不能相提并论,也不能用来制造芯片,还需要攻克一系列的技术难题退一步讲,就算是中国的光刻机与刻蚀机都达到世界领先就解决问题了么?ASML的EUV光刻机我们已经下单等待交货了,是不是到货以后中国就可以生产7nm甚至是5nm的芯片了不要把问题想简单了,以为芯片也只有光刻机和刻蚀机。芯片制造的技术、经验、工艺以及人才是一个系统性的工程,台积电也不是一天建成的,有了光刻机也不代表我们就能造出最顶尖的芯片。

中国的光刻机与刻蚀机已经达到世界先进水平,为什么有些人还说中国芯片业依旧前路艰辛?

8. “光刻机属于巴黎统筹条约禁运”是什么意思?跟中国的CPU以及其他高新电子发展是什么关系?

差不多就是有个瓦森纳协定,阻止所有西方国家把最先级的技术和设备卖给中国,让中国只能使用二流技术的协定,,这样中国就产不了太精密的芯片,不过这都是时间问题吧,外国人产得出,,我们也产的出,,只是要耗费些时间从头研发而已。。